近日，半导体设备公司芯源微发布2021年年报。报告显示，2021年芯源微营利实现双增。芯源微营收实现全年8.29亿元，同比2020年增长151.95%，归属于上市公司股东的净利润为0.77亿元，同比2020年增长58.41%。

对于芯源微营收增长151.95%，芯源微表示主要原因是半导体行业景气度持续向好，公司积极把握市场机遇，加大市场开拓力度，同时持续加大研发投入，产品竞争力不断增强，报告期内新签订单较上年同期大幅增长，收入规模持续增长。

芯源微透露，报告期内，公司销售规模扩大，其中：光刻工序涂胶显影设备产品营业收入较上年同期增长114.40%，主要系涂胶/显影机产品收入增长所致；单片式湿法设备产品营业收入较上年同期增长280.56%，主要是清洗机、去胶机、湿法刻蚀机产品收入各有所增长所致。

截至报告期末，芯源微生产的应用于各领域的涂胶显影设备和单片式湿法设备已累计销售1400余台套。

资料显示，芯源微主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机），可用于8/12英寸单晶圆处理（如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节）及6英寸及以下单晶圆处理（如化合物、MEMS、LED芯片制造等环节）。

目前，芯源微生产的涂胶显影设备与单片式湿法设备，已经从先进封装领域、LED领域拓展到MEMS、化合物、功率器件、特种工艺等领域，作为主流机型应用于台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌、中芯绍兴、中芯宁波等国内一线大厂。

值得注意的是，芯源微的电子集成电路前道关键设备研发及生产项目在今年1月上海正式开工，该项目占地约45亩，总投资6.4亿元。

项目建成后将开展浸没光刻匹配的涂胶显影机、单片式清洗机等高端半导体设备、与之相关的核心部件及软件平台技术的研发及产业化，进一步扩充芯源微的产品种类，推动集成电路生产设备及零部件国产化，更好服务于半导体、先进封装、MEMS、LED等领域的相关企业。（LEDinside整理）

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