PLANSEE Japan展出可替换LED蓝宝石基板的钼（Mo）基板及钼铜（MoCu）基板-LED在线

攀时日本（PLANSEE Japan）在“第3届新一代照明技术展”上，展出了用于替换嵌入LED构造的蓝宝石基板的钼（Mo）基板及钼铜（MoCu）基板等产品。可提高LED芯片的散热性，而且有助于实现LED芯片的高功率化及高效率化。

相关人士介绍，替换基板的LED芯片制造工艺是，先在蓝宝石基板上使GaN系半导体结晶外延生长，然后将Mo基板或MoCu基板粘贴在GaN系半导体结晶上。随后揭下蓝宝石基板，切割成LED芯片。将蓝宝石基板替换成其他基板的技术已用于部分蓝色LED芯片。

但目前，采用Mo基板目前只限于紫外LED芯片。主要由于使用激光划片（Laser Dicing）方法将利用Mo基板等替换的LED晶圆切割成LED芯片时的速度较慢，不适于生产供货量较多的蓝色LED芯片。随着激光划片的技术不断提高，近期可能采用Mo基板批量生产蓝色LED芯片。