近日，北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司研制的ELEDE 330高密度等离子ICP刻蚀机，中标上海蓝光LED项目。

北方微电子自主研制生产的ELEDE 330，是中国首台直接面向LED大生产线的ICP刻蚀系统，实现了北方微电子半导体刻蚀技术在LED领域的成功扩展。

此前不久，北方微电子研制的高密度等离子刻蚀机中标国家集成电路先导工艺研发项目。