近日，Entegris, Inc.宣布，为了满足 LED 制造商提高产量的需求，Entegris 将在2011 SEMICON China 展会上展示其新型 Ultrapak® 150 mm 厚外延片运输盒及 Aeronex® 气体纯化系统如何通过提高和保持外延片的完整性来帮助制造商提高产量。

Entegris 相关人士介绍，Ultrapak® 150 mm 外延片运输盒是专为运输 1.3 mm 厚度的外延片而设计的，可将外延片稳固，限制旋转，减少微粒污染并防止外延片出现损坏或破裂。通过与主流 LED 制造商紧密协作，Entegris 确定并对其得到广泛应用的半导体运输盒进行了重大改进，符合了 LED 行业的独特需求。

此外，该公司还将展出针对高亮度 LED (HBLED) 制造应用的气体纯化解决方案 Aeronex 系列。这些系统能够在最大运行时间内提供可靠的气体纯化服务，使制造商能够生产出具有最高光致发光峰值和发光效率的 HBLED。该种多层设计可持续供应纯化气体，且有多个氮、氢和氨的流量范围可供选择。