大陆LED设备制造商北方微电子凭借其过硬的技术基础和本地化的服务优势,开发的中国首台直接面向LED生产线的大产能ICP刻蚀设备——ELEDE 330等离子刻蚀机,近期获得东莞中镓半导体、上海蓝光等厂商的二次批量采购订单。
ELEDE 330等离子刻蚀机于2010年首次进入市场,通过多家生产线验证,凭借优秀工艺性能、较高生产能力和竞争力的价格,赢得了上海蓝光、大连路美、江门真明丽、普吉光电、同方光电等多家客户的认可和好评。
业内认为,在中国国家战略性新兴产业规划和产业升级的推动下,中国LED上游外延片、芯片制造业迎来了新一轮的投资高潮,LED产业的发展将为设备企业如北方微电子等带来更多的发展机遇。