日前,中国中科院LED照明研究所研制成功LED制造的关键设备MOCVD,将有利于推动LED灯价格下降,也使中国LED设备制造进入一个新的历史阶段。
据了解,MOCVD为金属有机化合物化学气相沉积,是生产LED的关键设备,技术难度极大。目前世界上主要由德国Aixtron公司与美国的Veeco(Veeco兼并Emcore公司MOCVD业务)垄断。
MOCVD的技术路线主要有Aixtron采用行星反应(Planetary Reactor),Aixtron兼并Thomas Swan的Closed Coupled Showerhead(CCS)反应室,Veeco公司采用Turbo Disc反应室,但必须有极高的温度压力控制能力,包括对多种气体的量的控制,而且这一切都在一个密闭的空间里实现,显然难度比起汽车发动机高得多,因此国外很多公司研发多年最终失败。
由于存在技术垄断及技术壁垒,有关厂家采用高价策略以攫取暴利,一套设备以千万人民币计,导致最终的LED芯片价格居高不下,也使LED灯价格难以降低和普及,但中科院LED照明研究所研制成功的MOCVD,已达到目前市面销售的MOCVD的水准,投入LED的工业化生产将会带来LED灯价格的降低,也将使LED灯得到普及。