近日，全球领先的半导体行业沉积设备供应商AIXTRON爱思强股份有限公司（法兰克福证券交易所：AIXA）宣布，AIXTRON已为瀚天天成电子科技(厦门)有限公司提供了一台AIX G5 WW C 设备，支持其进一步开发下一代碳化硅（SiC）外延片产品，主要用于制造电动汽车中的功率器件。AIXTRON的高产能机台已于2019年第三季度运至中国厦门瀚天天成的洁净室。

AIX G5 WW C MOCVD使用基于经过量产客户验证的AIXTRON行星式反应器®平台，并导入全自动化卡匣式（C2C）晶圆传输系统，实现了业内单腔最大片数(8 x 6英寸)及最大产能。它同时提供了灵活的6英寸和4英寸配置，旨在将生产成本压缩到最低，同时保持优良的产品质量。

瀚天天成寻求进一步扩大其产能，以满足客户日益增长的需求。作为一个领先的中国生产商，瀚天天成已建成4英寸和6英寸生产线，为客户提供600伏，1200伏和1700伏碳化硅功率器件的外延片产品。

“近年来，我们已被汽车和其他行业的器件制造商评为领先的SiC外延片供应商。因此我们在这个极具挑战性的行业里已经建立了良好的口碑。至目前为止，我们已经为全球100多个客户提供一流的服务。随着AIX G5WW C的引入，我们的年产能将在2019年增加到60,000片。我们最近完成了18000平方米新工厂的一期扩建，为年产40万片的目标提供洁净室空间。我们和我们的客户都有高质量的标准，我们依赖于行业领先者，例如AIXTRON和他们成熟的系统来满足这些要求。我们十分期待使用AIX G5 WW C来实现SiC外延片的大规模量产。”瀚天天成总经理冯淦博士说。

AIXTRON SE爱思强股份有限公司总裁Felix Grawert博士评论道：“我们很高兴与领先的外延代工厂合作，进一步加速碳化硅器件的商业化进程。碳化硅功率器件将助力众多高端电力电子应用的发展，这意味着我们正在为电动汽车及可再生能源等国际大趋势铺平道路。”

来源：化合物半导体

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