又一大厂联手半导体设备商,发力AR用单片Micro LED显示器
2020-10-14 12:06 [编辑: Andygui]

日前,美国半导体应用化学机械抛光(CMP)、晶圆减薄和晶圆抛光表面处理解决方案全球供应商Axus Technolog宣布与Compound Photonics(CP,也称CP Display)开展新的合作,旨在加快推动5μm Micro LED走向大众市场的步伐。

Axus与CP正在合作集成关键的晶圆级工艺,以量产CP的2μm、1080P Micro LED显示器,用于下一代AR眼镜。值得注意的是,Axus将部署配置集成式化学机械研磨后清洗(Post CMP Cleaning))功能的Capstone™ CMP系统,以提供晶圆平面化和表面处理解决方案,从而成功实现Micro LED晶圆与高性能CMOS背板的晶圆级接合。

Axus的CMP处理能力对实现CP专有的小间距Micro LED(外延衬底未透露)集成工艺方案来说至关重要。Capstone CMP系统提供多晶圆的可重复性和晶圆内的平面性能,可靠地实现Micro LED和CMOS背板晶片之间数百万微米级的电接触,解决了关键的批量生产工艺要求,即始终生产具有视觉一致性的Micro LED模块。这些Micro LED模块可满足小型、低功率、高亮度AR/MR等近眼显示器应用的需求。

据介绍,Axus和CP已于2020年初达成合作,旨在共同开发Micro LED阵列和CMOS背板晶片之间的晶圆级接合工艺集成。此次深化合作关系进一步表明双方在推动Micro LED显示器制造工艺和集成技术方面的决心。

图片来源:Compound Photonics

另值得一提的是,在发展可穿戴设备用单片Micro LED显示技术的道路上,除了CP,Plessey也选择了与Axus强强联合,三家公司之间合作关系紧密。

今年2月初,Plessey宣布与Axus达成合作,双方合作的领域是高性能硅基氮化镓单片Micro LED,前者向后者采购金属及氧化物CMP和相关工具,实现Micro LED晶圆与高性能CMOS背板的晶圆级接合。

同月,Plessey与CP也达成战略合作关系,并宣布生产出首批完全可寻址的AR/MR用Micro LED显示器模块,点亮首个0.26英寸对角线单色天然绿集成Micro LED显示模块。

迄今为止,CP、Plessey、JBD、Vuzix、Facebook等全球范围内大厂的动态均表明,Micro LED正在持续成为最有潜力满足AR/MR应用关键需求的显示解决方案。因此,对于降低成本和量产商用化AR/MR头戴式设备而言,Micro LED制程技术的创新起到关键作用。(文:LEDinside Janice)

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