中微公司MiniLED量产用MOCVD设备订单超100腔
2021-12-09 09:47 [编辑: MiaHuang]

12月9日,中微公司宣布其MOCVD设备迎来又一里程碑:Prismo UniMax® MOCVD设备订单超100腔。

据悉,Prismo UniMax® MOCVD设备于今年6月正式发布,主要用于氮化镓(GaN)基MiniLED外延片量产。MiniLED可被广泛应用于电视、笔记本电脑、平板电脑、桌面显示器、车载显示屏、户外显示屏等终端产品。

中微公司介绍,Prismo UniMax® MOCVD设备专为高性能MiniLED量产而设计,通过创新的多区温度调节系统,能精确控制托盘局部区域温度,有助于更大程度上提升LED波长均匀性。此外,优化的喷淋头设计实现了更好的均匀性和产出稳定性,新一代直流电源进一步提升了电能转化效率。

图片来源:拍信网正版图库

Prismo UniMax® 配置了785mm大直径石墨托盘,通过石墨托盘的不同设计,最多可以同时加工 164片4英寸或72片6英寸外延晶片,能提高产能并有效降低Mini LED生产成本。Prismo UniMax® 在同一系统中可配备多达4个反应腔,每个反应腔都可以独立控制。

Prismo UniMax® 是中微公司MOCVD设备系列的最新产品,该系列产品还包括Prismo D-BLUE® 、Prismo A7® 和Prismo HiT3® 。2013年,Prismo D-BLUE® 作为当时国内率先自主研发制造的量产型MOCVD设备正式发布。此后,公司相继发布Prismo A7® 和Prismo HiT3® 产品。如今,中微公司的MOCVD设备在行业内主要的LED生产线上全面投入量产。(来源:中微公司)

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