密歇根大学研发<1μm硅基绿光Micro LED,可用于AR/VR微显示
2022-11-1515:21:03[编辑: Akwan]

近期,密歇根大学宣布在Micro LED制造工艺上取得突破,这项新的工艺意味着你可以在硅上加入尺寸不到1微米的绿光LED,号称可实现高性能和高稳定性。据悉,这项研究的目的是提升超高分辨率彩色微显示器的制造工艺,以开发出适合AR/VR眼镜的Micro LED技术。

密歇根大学研发1um硅基绿光Micro LED,可用于AR/VR微显示

图片来源:《光:科学与应用》(2022)

据了解,AR/VR眼镜使用的Micro LED需要非常小巧、低功耗,且具有稳定性和高效性。另外,Micro LED单个像素尺寸小于1微米,制造工艺相当复杂,生产过程的缺陷率超过50%,而这将导致额外成本。而为了改善上述问题,科技行业已经投入了大量资金。

目前已经可以制造出高效、大面积的蓝光和红光LED,但制造出高效、大面积的绿光LED非常困难,将LED组件尺寸缩减到1微米也具有挑战性。而为了解决这一问题,密歇根大学教授Zetian Mi和他的团队开发了一种亚微米级的III-氮化物绿光Micro LED,其特点是使用了直径仅100到200纳米,间距仅几纳米的纳米线阵列。

科研人员表示:由于氮化物材料和硅衬底之间晶格参数不匹配,会引起丝状位错,纳米线阵列的功能则是过滤这种丝状位错,在硅上可以制造稳定的绿光Micro LED。此外,这种绿光LED制造工艺很容易转化为蓝色,无需转移就可以将蓝光Micro LED集成在硅片上。(来源:青亭网)

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