4月28日，中微公司宣布，董事会已审议通过《关于通过上海联合产权交易所竞购睿励科学仪器（上海）有限公司6.7575%股权暨关联交易的议案》。根据当时公告内容，国家集成电路产业投资基金将持有的睿励科学仪器的股权挂牌出售，挂牌价为5,790.21万元。

5月18日，中微公司发布公告称，公司已以挂牌价取得睿励科学仪器6.7575%股权。

官网资料显示，睿励科学仪器成立于2005年6月，主要致力于研发、生产和销售具有自主知识产权的集成电路生产制造工艺装备产业中的工艺检测设备。

据悉，集成电路芯片生产设备包括光刻、刻蚀、薄膜、工艺检测、清洗、离子注入等诸多个细分种类，而工艺检测设备是为芯片生产各工艺提供监测数据以确保各项工艺指标满足要求从而提高成品率的关键性设备。随着芯片工艺不断向更小节点发展，芯片生产过程中的所需检测的步骤和频次越来越高，对工艺检测设备的需求量随之增加。

因此，中微公司指出，本次竞购睿励科学仪器6.7575%股权是出于公司战略发展的需要，该举措有利于进一步促进公司产业链延伸、有利于公司培育新的业务增长点，促进公司健康发展。

图片来源：拍信网正版图库

据悉，中微公司主要从事高端半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售，业务涉及半导体集成电路制造、先进封装、LED外延片生产、功率器件、MEMS制造以及其他微观工艺的高端设备领域。

2022年，中微公司实现营业收入47.40亿元，较上年同期增长52.50%。对比，公司表示，主要是由于：

1.等离子体刻蚀设备是除光刻机外最关键、工艺难度最高的半导体前道加工设备，而公司的等离子体刻蚀设备在国内外持续获得更多客户的认可，市场占有率不断提高，在国际最先进的5纳米芯片生产线及下一代更先进的生产线上均实现了多次批量销售。

2.公司的另一类主打产品MOCVD设备在新一代MiniLED产业化中、在蓝绿光LED生产线上取得了绝对领先的地位。

2022年年报中，中微公司表示，截止2022年，公司累计MOCVD产品出货量超过500腔，持续保持国际氮化镓基MOCVD设备市场领先地位。其中Prismo UniMax?产品自2021年6月正式发布以来，凭借其高产量、高波长均匀性、高良率等优点，受到下游客户的广泛认可，累计出货量已超过120腔，在MiniLED显示外延片生产设备领域处于国际领先。

3.公司的各种新产品开发，比如用于更先进微观器件制程的薄膜设备和刻蚀设备，也取得了可喜的进展。（LEDinside Lynn整理）