天晶12英寸蓝宝石衬底量产,可满足MicroLED制造需求
2025-07-1610:54:15[编辑: MiaHuang]

据投影时代报道,江苏天晶智能装备有限公司(以下简称“天晶智能装备”)宣布,其自主研发的12英寸蓝宝石衬底与载体晶圆已同步实现规模化量产,年产能达10万片,良率超97%。

此次量产的12英寸蓝宝石衬底直径控制精度为300±0.5mm,表面粗糙度为0.2纳米,位错密度≤500 cm?2,可耐受2050℃高温,可满足GaN外延、Micro LED等高端器件的制造需求。

12英寸蓝宝石衬底通过独创的超高速金刚石线切割技术(线速3000米/分钟)与磁控溅射工艺,产品外延层位错密度降低80%,提升LED芯片发光效率。

天晶智能装备

图片来源:天晶智能装备

资料显示,天晶智能装备于2015年在深圳创立,起步便专注智能装备领域。2019 年,公司在徐州设立生产总部,2024 年,为扩大规模,工厂迁至淮安,同年在福建水头镇成立分公司,完成全国布局。(LEDinside整理)

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