近日,江苏海思半导体宣布,公司已成为歌尔济南Micro LED量产线8英寸全自动双面对准光刻机供应商,为相关产线提供光刻设备支持。
据了解,此次提供的设备主要面向8英寸硅基Micro LED晶圆制造,适配双面对准光刻工艺,可用于Micro LED微显示芯片生产。江苏海思表示,该设备由公司自主研发,集成自动上下料、视觉对准、连续曝光等功能,可满足量产线自动化运行需求。

图片来源:海思半导体
从技术特点来看,该设备主要围绕双面对准精度、自动化生产以及薄晶圆工艺进行了优化,支持硅基GaN等相关工艺应用。公司称,设备采用自主研发的光学、机械、电控及对位算法,并可提供本地化工艺支持和设备维护服务。
作为一家专注于接近式光刻设备的企业,江苏海思半导体产品覆盖2—12英寸晶圆单面、双面对准光刻设备,应用于MEMS、Micro LED、AR、化合物半导体、先进封装及功率器件等领域。
此次获得歌尔量产线订单,也反映出歌尔正加快推进Micro LED产业化布局。
据了解,今年4月,歌尔成立歌尔视显光电科技(济南)有限公司,进一步完善济南微显示产业布局。此前,歌尔已在济南建设高性能光电器件产业园,聚焦硅基Micro LED、硅基OLED等微显示技术研发及生产,规划年产100万片微显示屏,主要面向AI眼镜、AR等终端应用。
从业务布局来看,Micro LED微显示已成为歌尔重点投入方向之一。2025年,公司研发投入53.03亿元,重点投向AI智能眼镜、AR/VR光学、MEMS传感器等领域;同期,包含AI眼镜、AR/VR在内的智能硬件业务实现营收537.69亿元。2026年第一季度,公司实现营业收入186.59亿元,同比增长14.44%;归母净利润5.03亿元,同比增长7.28%。
江苏海思半导体表示,未来将继续与歌尔围绕Micro LED前沿工艺开展联合研发,持续迭代8英寸、12英寸高精度双面对准光刻平台,并拓展光波导、光芯片及CPO光学器件等领域的光刻解决方案。(LEDinside整理)
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