蓝河科技完成数亿元B6轮融资,加码MOCVD装备研发
2026-07-2211:03:54[编辑: MiaHuang]

7月21日,MOCVD装备企业蓝河科技宣布完成数亿元人民币B6轮融资。本轮融资由中国互联网投资基金领投,泰达科创、长江创新等机构共同投资。

据披露,本轮融资资金将主要用于MOCVD装备核心技术研发、设备工艺优化、研发团队建设、产线能力提升,以及推进多款设备的客户验证和批量交付。

蓝河科技成立于2020年,主要从事化合物半导体MOCVD装备研发与制造,产品覆盖第二代(InP/GaAs)、第三代(GaN/SiC)、第四代半导体(Ga₂O₃、AlN)及二维薄膜材料等领域,已形成CS、DR等系列MOCVD产品平台,并拓展至高温CVD(HTCVD)等化合物半导体装备。

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图片来源:拍信网正版图库

MOCVD设备是化合物半导体外延制造的核心工艺装备,广泛应用于光通信芯片、射频器件、功率半导体、太空光伏电池、Micro LED等领域。近年来,随着AI算力基础设施建设、高速光通信升级、低轨卫星互联网等产业发展,相关应用需求增长,也带动了MOCVD设备市场的发展。

据了解,蓝河科技相关设备可应用于光通信芯片(DFB激光器、EML电吸收调制激光器、VCSEL等)、太空光伏电池、氮化镓功率器件及Micro LED等领域。其中,公司面向光通信InP/GaAs激光器和太空光伏GaAs领域的MOCVD设备已实现产品交付。

截至目前,蓝河科技累计获得300余台MOCVD及CVD系列装备订单,已交付设备150余台,客户涵盖科研院所及产业企业。公司已布局绍兴总部基地、上海研发基地、长兴量产基地及徐州特色基地,总生产经营面积约1.7万平方米。

值得注意的是,蓝河科技创始人、董事长张伟曾任职于德国爱思强(AIXTRON)和德国商先创(centrotherm),2011年联合创办中晟光电,2020年创办蓝河科技。(LEDinside整理)

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