中国本土LED生产设备MOCVD即将亮相第76届中国电子展
2010-10-15 11:49 [编辑: ]

发展国产LED生产设备,降低生产成本,是关乎中国绿色节能产业健康发展的重大命题。中国本土LED生产设备即将在第76届中国电子展上亮相。

中国设备制造商青岛华旗科技将展出一款适用于化合物半导体——LED/半导体照明等科研领域的外延及晶体生长MOCVD系统。该系统由生长室、气源、气体控制系统、真空系统、整机的计算机控制系统等组成,系统各工艺参数均可由计算机自动控制(windows界面)。

该产品可满足2”多片外延片,支持GaN/GaAs等薄膜工艺、采用电阻加热 /感应加热的结构形式,生产能力为2英吋1、3、6片。另外,该公司还承担了部分国家863项目(如半导体白光照明GaN生长的HVPE设备等)。

赛瑞达公司除了一系列太阳能专用设备之外,也开发了几款LED生产设备,包括LED专用扩散炉和专用合金炉。其LED专用扩散炉和专用合金炉关键件全部采用进口件,具有高可靠性和高抗干扰能力,具有可编程的升、降温功能,以及有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。

该设备可存储九条工艺曲线,每条工艺曲线最多有九步,曲线间可以任意链接、重复。另外还具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置。赛瑞达可为客户提供斜滚式推拉舟系统,石英双桿推拉舟系统及SiC浆推拉舟系统的灵活选择。

上游设备的成功本土化离不开下游外延芯片厂、LED封装厂、模块乃至灯具供应商、后端设备商的配合与支持。据悉,本届秋季度中国电子展,汇集了真明丽、深圳市稳亮电子、李洲科技、寧波升谱电子、常州爱立德电子、台湾亿光电子、金台电子等眾多大中小型LED企业,以及田中精机、崑山具良、日特机械工程、华胜科技、上海富荣电子等一大批后端生产设备商,并专门开闢了LED照明展区,为产业上下游的互动提供了良好的互动平台,有利于促成他们之间的合作。

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