7月8日,江苏智芯达宣布,其自主研发的硅基显示IZO低温低损伤磁控溅射设备已完成整机调试、验收,并交付下游硅基Micro OLED产线。

据介绍,硅基Micro OLED(OLED on Silicon)是AR/VR近眼显示及部分车载显示的重要显示技术之一。由于器件中的有机发光层对温度和粒子轰击较为敏感,镀膜工艺对设备的温度控制和膜层均匀性提出较高要求,低温低损伤溅射设备也是国内相关产业链持续推进国产化的重要环节。
江苏智芯达交付的设备采用自主研发的相关技术,可将镀膜基底温度控制在40℃至60℃区间,以降低工艺过程中对有机膜层的影响;同时通过靶材结构优化,提高膜层均匀性和厚度控制精度。公司表示,设备相关工艺指标已达到国际同类产品水平。
江苏智芯达主要从事新型显示真空镀膜设备研发。公司介绍,其设备核心腔体、磁控阴极、真空传动及智能控制等关键部件均实现自主研发。
江苏智芯达此次设备交付,是今年来Micro OLED产业链持续发展的进展之一。随着AR眼镜等终端产品快速发展,Micro OLED设备、面板制造及终端应用等多个环节不断迎来新进展。
其中,熙泰智能科技位于湖北安陆的Micro OLED硅基微显示产线于今年6月已完成点亮。该项目总投资27亿元,一期建成8英寸硅基微显示产线,二期规划建设12英寸高端产线,进一步完善国内Micro OLED产能布局。
海外厂商同样加快产能建设。5月,美国微显示技术企业Kopin采购OLED沉积系统及相关设备,计划在美国韦斯特伯勒总部建设全尺寸Micro OLED显示器生产线,由无晶圆厂(Fabless)模式向自有制造模式转变,以满足美国国防等领域对本土OLED器件不断增长的需求。
与此同时,下游市场需求持续释放。视涯科技5月发布公告称,因业务发展需要,公司拟新增2026年度日常关联交易预计金额。其中,拟向歌尔光学科技(香港)有限公司销售Micro OLED微型显示屏,年度预计交易金额不超过16亿元。
产业资本也持续流向Micro OLED领域。奥视于5月完成超亿元B轮融资,本轮融资将主要用于建设年处理6万片12英寸晶圆的K2工厂,加快新型图案化工艺在Micro OLED等领域的产业化。
终端产品方面,宏碁于6月发布两款智能眼镜产品,其中AR Vision GR0采用两块1920×1080分辨率的Micro OLED微显示屏,进一步推动Micro OLED在AR设备中的应用。(LEDinside整理)
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