近日，合肥欣奕华智能机器股份有限公司（以下简称“合肥欣智”）自主研发的G4.5Q OLED蒸镀设备正式出货国内显示头部企业。

图片来源：合肥欣智

合肥欣智表示，本次交付的设备在对位精度、成膜均一性与速率稳定性等多项指标上均表现良好，其技术特色主要集中于两项应用：一是自动逆物流控制技术，改变了传统蒸镀设备需多腔室配置才能实现叠层蒸镀的技术路径；二是点线源混蒸技术，通过独立闭环控制各蒸发源速率，解决了叠层器件金属膜层与有机材料共混的工艺难题，实现了高比例与高均一性的混合沉积。

据介绍，G4.5Q OLED蒸镀设备可以面向玻璃基穿戴显示产品量产场景，适配智能手表、智能手环、AR/VR等智能眼镜“泛在显示”趋势，可精准匹配穿戴设备显示面板量产需求。

设备用于OLED面板行业核心工艺制程的真空成膜环节，并支持叠层器件蒸镀，使客户在少量蒸镀腔室配置下即可高效完成叠层器件生产，提高产线运营效率，为下游终端产品升级迭代提供核心装备支撑。

招投标公开信息显示，合肥欣智蒸镀机于今年1月22日成功中标维信诺旗下“苏州国显创新科技有限公司新型显示技术开发年产XR产品150万件项目”。

资料显示，合肥欣智主营泛半导体真空镀膜设备、洁净移载设备、高速高精密设备等产品的研发、生产、销售及技术服务。公司已完成从G1到高世代显示蒸镀设备系列产品国产化开发，小世代整机、蒸发源和高精密对位系统等高世代蒸镀设备关键核心装置已交付客户量产应用。目前，合肥欣智已与维信诺、TCL华星光电、京东方等企业建立合作关系。（来源：合肥欣智、集邦Display整理）

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